潔凈室凈化空調系統劃分與設備配置要求

       凈化空調系統的劃分潔凈室的凈化空調系統除了控制受控環境的溫度、相對濕度外更重要的是要控制潔凈區內的空氣潔凈度、壓力或靜壓差;凈化空調系統的空氣處理過程包括熱、濕處理和凈化處理(經粗效、中效或亞高效、高效或超高效過濾器過濾)，還要根據產品生產工藝要求設置過濾器或淋水器等;凈化空調系統送風、回風的氣流組織應有利于減少塵粒的擴散，避免潔凈氣流受污濁，以確保輸送至潔凈工作區的空氣潔凈度。凈化空調系統所采用的凈化空調設備、風管及其附件、密封材料的材質按潔凈度等級的不同有嚴格的要求。潔凈區的凈化空調系統一般風量較大、風壓較高，能耗較大、運行費用高，在系統安裝后，應按規定進行嚴格的調試、性能測試，并經性能評價達到合格要求。潔凈室凈化空調系統的劃分應考慮滿足產品生產工藝要求、適應生產工藝特點的需要，防止產品生產過程的交叉污染和由此對產品質量或工作人員身體健康的影響，有利于產品生產過程的安全運營，避免可能誘發不安全因素的形成，方便運行管理，降低系統整體或全部運行能量消耗，減少設備、管路投資等多種國素。在國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范》中對凈化空調系統劃分的規定是，具有下面情況之一者，凈化空調系統宜分開設置。凈化空調系統的設置方式潔凈室中的凈化空調系統有集中設置方式和分散設置方式，集中設置方式是將空氣處理機組(AHU)集中設在空調機房內，在空調機組內集中進行初效、中效或亞高效空氣過濾凈化和熱、濕處理，然后由送風管道輸送至潔凈區的吊頂上部，經過設在頂棚上的末端高效空氣過濾器或高效過濾器送風口進行終端凈化送入潔凈區，實現產品生產工藝對潔凈度、溫度，相對濕度和壓力的要求。

潔凈區回風經回風口、回風管再返回至空調機房的空調機組內與新風混合，重復進行熱、濕處理和凈化處理。這類集中式系統可有全新風(直流系統)方式，一次回風方式和一、二次回風方式以及MAU+RAU方式等。集中送風方式采用數臺大型新風機組和凈化循環機組集中設置在空調機房內，空調機房可位于潔凈區的側而或頂部；經過溫度、濕度處理和過濾后的空氣由離心風機或軸流風機加壓通過風管送入送風靜壓箱，再經由高效過濾器或超高效過濾器過濾送入潔凈區。回風經格柵地板系統流入回風靜壓箱，再回到凈化空調系統的循環系統，如此反復循環運行。隧道潔凈區送風方式這種送風方式一般把潔凈室劃分為生產核心區、維護區。生產核心區要求高潔凈度等級和嚴格的溫、濕度控制，設在單向流送風區內;維護區要求較低，設置生產輔助設備或無潔凈要求的生產設備尾部和配管配線等。生產區為送風區，維護區為回風區，構成空氣循環系統。一般隧道式送風由多臺循環空氣系統組成，所以其中一臺循環機組出現故障不會影響其他區域的生產環境潔凈度等級,并且各個循環系統可根據產品生產需要進行分區調整控制。潔凈區的回風經維修區與新鳳處理裝置(MAU)處理后的新風混合，由循環空氣處理裝置送入送風靜壓箱，通過空氣過濾器送入潔凈生產層。潔凈區的回風經表冷器降溫后與處理后的新風混合，通過FFU增壓、過濾送入潔凈生產層。風機過單元送風方式這是在潔凈區的吊頂上安裝多臺風機過濾單元機組，FFUD、構或凈化循環機組，不需要配置凈化循環空調機房，送風靜壓箱為負壓，空氣由FFU送到潔凈室。中凈環球凈化可提供潔凈車間、無菌車間等的咨詢、規劃、設計、施工、安裝、改造等配套服務。

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